特点
等离子装置在半导体、电子材料干洗中的应用越来越广泛。
例如：在硅芯片的光刻胶剥离、有机膜的去除、界面活性化
处理、微米研磨、碳化膜去除等领域Yamato等离子产品都发
挥了积极的作用。

DP方式圆柱型PR/PB系列产品
硅芯片光刻胶剥离、有机膜去除、界面
活性化、微研磨等处理用。